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八十年代后期國內開始研發(fā)微波真空干燥設備，通過多年的努力，到 2000 年前后，成功的解決了低氣壓微波場起弧放電，鋪料層之間加熱溫差，微波場內非接觸測溫等多項難題，從實驗階段跨入工業(yè)化生產階段。為食品工程、制藥工程、生物工程、化工工程、材料工程以及農副產品深加工提供了一種新型、高效的干燥設備。
微波真空干燥的特點：
　　高效： 常規(guī)的真空干燥設備中，（假定真空壓力為 7.37kpa ，物料脫水溫度為 40 ℃， 1kg 水汽化熱是 574 大卡），由于在真空場合下，熱量通過對流傳遞^困難，只能傳導進行，加熱速度慢，干燥周期長，能耗大。微波真空干燥設備采用的是輻射傳能，是介質整體加熱，無需其它傳熱媒介，避免了上述缺點，所以速度快，效率高，干燥周期大大縮短，能耗降低。與常規(guī)干燥技術相比可提高工效四倍以上。
　　加熱均勻： 由于微波加熱是物料里外同時加熱，物料的里外溫差小，不會產生常規(guī)加熱中出現(xiàn)的里外加熱不一致的狀況，而使干燥質量大大提高。 易控： 便于連續(xù)生產及實現(xiàn)自動化，由于微波功率可快速調整及無慣性的特點，易于及時控制，便于工藝參數的調整和確定。
　　設備體積小，安裝維修方便：
　　產品質量好： 與常規(guī)方法相比，所加工的產品質量有較大幅度的提高。
此外微波設備具有消毒、殺菌之功效，產品安全衛(wèi)生。保質期可延長。
從以上介紹的特點中，節(jié)能、降耗、提高產品質量、安全衛(wèi)生、設備投資成本低等諸方面即可看出其經濟效益和社會效益的顯著。在脫水蔬菜加工中，對各種干燥設備的工藝性能，經濟效益，產品質量等比較結果如表。

項目
微波真空設備 冷凍干燥設備　　熱風干燥設備

成品品質

維生素等營養(yǎng)成分保存率
85%　　　　　　 95%　　　　　　熱分解、無保存
　　　　
風味色觀

基本保存　　　　 全部保存　　　　大幅度變化

復水性
3 分鐘恢復　　 3 分鐘恢復　　　　15 分鐘以上

咀嚼感
完好　　　　　　 差　　　　　　 一般

設備特征

設備成本
凍干機的一半　　 昂貴　　　　　　 便宜

運行成本
2-3 元 /kg　　 20 元 /kg　　　　1-1.5 元 /kg

干燥時間
3-4 小時　　　　20 小時　　　　 5-6 小時

其它

占地面積
小　　　　　　　　中　　　　　　　　 大

殺菌作用
無　　　　　　　　無　　　　　　　　 無

微波真空設備與常規(guī)真空設備干燥效率比較
型號　　功耗　　 每小時去水量 效率（ kg/kw.h ）

微波真空設備

　　 25kw　　　　 10kg　　　　0.4
　　
真空設備
　　 23kw　　　　 2.5kg　　 0.1

經比較微波真空干燥設備的效率為常規(guī)真空設備的 4 倍，可見微波真空干燥是一項經濟效益顯著、推廣價值極高的高新技術。目前我公司研制的新型工業(yè)化微波真空干燥設備已通過國家有關單位的鑒定，從 2kw-100kw 微波真空干燥設備已形成系列產品。這將為我國國民經濟諸多領域及科研部門提供能夠一種現(xiàn)代化的高新技術干燥設備。
微波真空干燥設備是微波能技術與真空技術相結合的一種新型微波能應用設備，它兼?zhèn)淞宋⒉罢婵崭稍锏囊幌盗袃?yōu)點，克服了常規(guī)真空干燥周期長、效率低的缺點，在一般物料干燥過程中，具有干燥產量高、質量好、加工成本低等優(yōu)點，微波真空干燥設備市一項集電子學、真空學、機械學、熱力學、程控學等多學科為一體的高新技術產品，是對干燥過程中物質的物理變化、內外熱質交換以及真空條件下水分遷移過程的深入研究基礎上的，發(fā)展起來的一項新技術、新工藝。微波真空干燥設備由微波發(fā)生器、真空干燥腔、物料旋轉盤、真空系統(tǒng)和電子控制系統(tǒng)組成。
工業(yè)生產中，由許多物品是不能在高溫條件下進行干燥處理，如一些藥品、化學制品、營養(yǎng)食品以及人參、鹿茸等高檔中草藥材，為了保證產品質量，其干燥處理必須在低于 100 ℃或室溫的條件下進行，眾所周知氣壓降低，水的沸點降低，如在一個大氣壓（ 101.3 kpa ）下，水的沸點是 100 ℃，而在 0.073 大氣壓下（ 7.37 kpa ）下，水的沸點是 40 ℃。在真空條件下，加熱物體可使物體內部水分在無溫升狀態(tài)下蒸發(fā)。由于真空條件下空氣對流傳熱難以進行，只有依靠熱傳導的方式給物料提供熱能。常規(guī)真空干燥方法熱的傳導速度很緩慢、效率低，并且溫度控制難度大，被加熱物料還會產生內外溫差。微波加熱是一種輻射加熱，是微波與物體直接發(fā)生作用，使其里外同時被加熱，無須通過對流或傳導來傳遞熱量，所以加熱速度快，干燥效率高，干燥質量高。
國外發(fā)達國家如美國、法國、日本八十年代開始進行工業(yè)化微波真空干燥設備開發(fā)。并在實際應用中取得良好的效果。美國加州大學與某公司合作，用微波真空干燥設備加工無籽葡萄干，將傳統(tǒng)工藝65℃、24小時熱風烘干變?yōu)?0℃、5小時微波真空干燥，產品質量大大提高。法國國際微波公司制造的微波真空干燥機（2450MHz、48kw）加工速溶桔粉，產品不僅保持原有的色、香、味、其維生素的保留遠高于噴霧干燥。